簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="矽晶圓裂片"


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    飛秒雷射加工創新研究-內部結構型擴散片與矽基板裂片應用
    • /98/ 碩士
    • 研究生: 邱婉玲 指導教授: 鄭正元 張復瑜
    • 飛秒雷射具有超短脈衝以及光能量密度極高的特性,且擁有特殊的光化學材料剝離機制。這些特性使其有別於一般雷射而有加工熱影響區小、加工尺寸精密度高、以及熱應力低所帶來的內部加工優勢。利用這些特點,本研究以…
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